隨著現今半導體產業的發展與製程的開發,晶圓線路製程更加細緻,所使用的清洗用水純度也需提昇,因此對於超純水的需求亦逐漸升高。超純水為極為接近高純度的水,其為除氫離子與氫氧離子以外,幾乎無其他電解質存在的水。在製造處理過程後,可盡可能地將溶在水中或在水中散播的各種雜質除去,包含有機物、細菌、塵埃、氧化物 等物質。常作為晶圓、電路板等半導體製程清洗用水。
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